智能时代下异质集成材料与器件技术

讲演人简介：欧欣，中国迷信院上海微体系与信息技能研究所，集成电路资料天下重点试验室二级研究员、硅基资料与集成器件试验室主任，国度科技立异领甲士才（2019）、国度优青（2016）、享用国务院当局特殊津贴（2024）、中国青年科技奖（2022）、中国迷信院高档次人材（终期优异）（2015）上海市领甲士才（2023）、上海市优异学术带头人(2018)。 IEEE国际超声技能集会IUS TPC中国委员，前后掌管基金委重年夜名目及国度重点研发规划，正在硅基SOI 资料技能的根蒂根基下面向集成电路资料的成长趋向及5G 芯片对异质集成资料技能的重年夜需要，成长异质集成XOI资料与器件技能，胜利开收回多种异质晶圆制备技能并使用于光电调制器、射频滤波器等芯片，研究结果解决了国产高机能5G/6G射频滤波器用压电异质晶圆自立可控问题。前后颁发SCI/EI 论文 229 篇，此中 150 篇以第一/通信作者颁发正在 Nature(2)、Nature Mater.、NatureCom.(3)、PRL（2）、Adv. Mater.、Nano Lett. (2) 、Light (4)、Optica(2)、Appl. Phys. Rev. 等闻名期刊及IEEE 系列 IEDM (5)、TMTT（7）、IMS (3)、MEMS (6)、IUS(25) 等；参著两本英文专著以及两本本中文专著；第一发现人请求专利230件，已受权132件，国际专利7件，转化允许42件，前后得到中国迷信院优异博士论文、2023/2024/2025中国迷信院优异导师奖、中国产学研互助立异奖、2019年中国光学十猛进展、2024年中国光学十年夜影响力事务、2024年中国半导体十猛进展、首届天下倾覆性立异技能年夜赛总决赛优越奖，2022年国际IEEE微波奖（海内唯二）、2016年国际离子束与资料改性IBMM Prize（海内首位）等声誉。

讲演择要: 异质集成可以冲破繁多半导体能带布局以及物理特征的限定，已成为信息器件技能成长的重要趋向, 一方面可以创造频谱更宽广、功用更富厚、机能更优秀的微电子以及光电子器件，另外一方面可以完成分立器件的单芯片集成，鞭策电子体系向小型化、集成化标的目的成长。 但高品质异质集成资料制备及异质界面临器件的多场调控还面对诸多要害迷信问题。本讲演先容课题组正在新型异质集成XOI资料及器件方面的研究进展，经由过程成立异质资料制备技能系统，为5G/6G时代高功率电子器件、高速光子器件（铌酸锂、钽酸锂）以及高频、年夜带宽射频声学器件供给异质集成资料平台以及器件方案。